Mikrofabrikasyon

Dört katmandan oluşan bir tümleşik devre

Mikrofabrikasyon, mikrometre ölçekli yapılar üzerinde çalışan bir üretim tekniğidir. İlk örnekleri tümleşik devreler üzerinde uygulanan teknik "yarı iletken aygıt üretimi" olarak da adlandırılmaktadır. Nanometre ölçeğinde çalışan mikro elektro-mekanik sistemler üzerindeki araştırmalar da mikrofabrikasyon tekniğinin gelişimini hızlandırmıştır.